1、使用時嚴格按照儀器操作規程操作。使用ICP時，要特別注意點炬時應確保冷卻水水溫、氬氣壓力正常，蠕動泵泵管安裝正確，炬管和線圈干燥等才能點炬。

 

　　2、使用時必須注意檢查儀器的性能。一般儀器需預熱穩定，測定樣品前首先應注意檢查儀器的靈敏度和精密度。可查乏看某標準溶液的信號強度和多次測定的相對標準偏差是否滿足要求。雖然儀器的靈敏度在一定范圍內波動，但仍有一合理的波動范圍，如信號強度或測量RSD異常應注意檢查。

 

　　3、在ICP光譜儀上測量的樣品應確保無沉淀或懸浮物，必要時應重新過濾，一此粒很細的膠體溶液應離心，以免發生霧化器堵塞。過高鹽分的樣品應適當稀釋后才能測定。

 

　　4、批量樣品的測定應注意樣品間應用稀的酸或去離子水清洗，個別高含量的樣品應稀釋后重新測定，并注意清洗足夠的時間，以避免污染下一個樣品。儀器測量一定時間應插入測定一些已知濃度的質量量控制樣品進行中間檢查；檢查測量結果是否在一給定的結果范圍，如測量結果誤差較大，應根據情況重新做工作曲線或停機檢查。